式中: A ——壓電片的麵積( ㎡ );
d ——壓電片的厚度( m );
——壓電材料的相對介電常數(石英晶體(ti) 為(wei) 4.85);
——真空的介電常數(
)。
壓電元件電荷Q的開路電壓U可等效為(wei) 電源與(yu) 電容串聯或等效為(wei) 一個(ge) 電荷源Q和電容Ca並聯,如圖1所示。
圖1 壓電式傳(chuan) 感器的等效電路
電容器上的電壓Ua、電荷量q和電容量Ca三者關(guan) 係為(wei) :
壓電傳(chuan) 感器在實際使用時總要與(yu) 測量儀(yi) 器或測量電路相連接,因此還需考慮連接電纜的等效電容Cc,放大器的輸入電阻Ri , 輸入電容Ci以及壓電傳(chuan) 感器的泄漏電阻Ra。這樣,壓電傳(chuan) 感器在測量係統中的實際等效電路, 如圖2所示。
(a) 電壓源 (b) 電荷源
圖2 壓電傳(chuan) 感器的實際等效電路