IGBT正是作為順應這種要求而開發的,它是由MOSFET(輸入級)和PNP晶體管(輸出級)複合而成的一種器件,既有MOSFET器件驅動功率小和開關速度快的特點(控製和響應),又有雙極型器件飽和壓降低而容量大的特點(功率級較為耐用),頻率特性介於MOSFET與功率晶體管之間,可正常工作於幾十KHz頻率範圍內。基於這些優異的特性,IGBT一直廣泛使用在超過300V電壓的應用中,模塊化的IGBT可以滿足更高的電流傳導要求,其應用領域不斷提高,今後將有更大的發展。
IGBT的結構與特性:
如圖1所示為一個N溝道增強型絕緣柵雙極晶體管結構, N+區稱為源區,附於其上的電極稱為源極(即發射極E)。N基極稱為漏區。器件的控製區為柵區,附於其上的電極稱為柵極(即門極G)。溝道在緊靠柵區邊界形成。在C、E兩極之間的P型區(包括P+和P-區,溝道在該區域形成),稱為亞溝道區(Subchannel region)。而在漏區另一側的P+區稱為漏注入區(Drain injector),它是IGBT特有的功能區,與漏區和亞溝道區一起形成PNP雙極晶體管,起發射極的作用,向漏極注入空穴,進行導電調製,以降低器件的通態電壓。附於漏注入區上的電極稱為漏極(即集電極C)。
圖1 N溝道增強型絕緣柵雙極晶體(ti) 管結構
IGBT的開關(guan) 作用是通過加正向柵極電壓形成溝道,給PNP(原來為(wei) NPN)晶體(ti) 管提供基極電流,使IGBT導通。反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關(guan) 斷。IGBT的驅動方法和MOSFET基本相同,隻需控製輸入極N-溝道MOSFET,所以具有高輸入阻抗特性。當MOSFET的溝道形成後,從(cong) P+基極注入到N-層的空穴(少子),對N-層進行電導調製,減小N-層的電阻,使IGBT在高電壓時,也具有低的通態電壓。
IGBT是由MOSFET和GTR技術結合而成的複合型開關(guan) 器件,是通過在功率MOSFET的漏極上追加p+層而構成的,性能上也是結合了MOSFET和雙極型功率晶體(ti) 管的優(you) 點。N+區稱為(wei) 源區,附於(yu) 其上的電極稱為(wei) 源極(即發射極E);P+區稱為(wei) 漏區,器件的控製區為(wei) 柵區,附於(yu) 其上的電極稱為(wei) 柵極(即門極G)。溝道在緊靠柵區邊界形成。在C、E兩(liang) 極之間的P型區(包括P+和P-區)(溝道在該區域形成)稱為(wei) 亞(ya) 溝道區(Subchannel region)。而在漏區另一側(ce) 的P+區稱為(wei) 漏注入區(Drain injector),它是IGBT特有的功能區,與(yu) 漏區和亞(ya) 溝道區一起形成PNP雙極晶體(ti) 管,起發射極的作用,向漏極注入空穴,進行導電調製,以降低器件的通態壓降。附於(yu) 漏注入區上的電極稱為(wei) 漏極(即集電極C)。
IGBT是由一個(ge) N溝道的MOSFET和一個(ge) PNP型GTR組成,它實際是以GTR為(wei) 主導元件,以MOSFET為(wei) 驅動元件的複合管。IGBT除了內(nei) 含PNP晶體(ti) 管結構,還有NPN晶體(ti) 管結構,該NPN晶體(ti) 管通過將其基極與(yu) 發射極短接至MOSFET的源極金屬端使之關(guan) 斷。IGBT的4層PNPN結構,內(nei) 含的PNP與(yu) NPN晶體(ti) 管形成了一個(ge) 可控矽的結構,有可能會(hui) 造成IGBT的擎柱效應。IGBT與(yu) MOSFET不同,內(nei) 部沒有寄生的反向二極管,因此在實際使用中(感性負載)需要搭配適當的快恢複二極管。
IGBT的理想等效電路及實際等效電路如下圖所示:
由等效電路可將IGBT作為(wei) 對PNP雙極晶體(ti) 管和功率MOSFET進行達林頓連接後形成的單片型Bi-MOS晶體(ti) 管。
因此,在門極-發射極之間外加正電壓使功率MOSFET導通時,PNP晶體(ti) 管的基極-集電極就連接上了低電阻,從(cong) 而使PNP晶體(ti) 管處於(yu) 導通狀態,由於(yu) 通過在漏極上追加p+層,在導通狀態下,從(cong) p+層向n基極注入空穴,從(cong) 而引發傳(chuan) 導性能的轉變。因此,它與(yu) 功率MOSFET相比,可以得到極低的通態電阻。
此後,使門極-發射極之間的電壓為(wei) 0V時,首先功率MOSFET處於(yu) 斷路狀態,PNP晶體(ti) 管的基極電流被切斷,從(cong) 而處於(yu) 斷路狀態。
如上所述,IGBT和功率MOSFET一樣,通過電壓信號可以控製開通和關(guan) 斷動作。
IGBT的工作特性:
1.靜態特性
IGBT 的靜態特性主要有伏安特性、轉移特性和開關(guan) 特性。
IGBT 的伏安特性是指以柵源電壓Ugs 為(wei) 參變量時,漏極電流與(yu) 柵極電壓之間的關(guan) 係曲線。輸出漏極電流比受柵源電壓Ugs 的控製,Ugs 越高, Id 越大。它與(yu) GTR 的輸出特性相似,也可分為(wei) 飽和區1 、放大區2和擊穿特性3部分。在截止狀態下的IGBT,正向電壓由J2 結承擔,反向電壓由J1結承擔。如果無N+緩衝(chong) 區,則正反向阻斷電壓可以做到同樣水平,加入N+緩衝(chong) 區後,反向關(guan) 斷電壓隻能達到幾十伏水平,因此,限製了IGBT 的某些應用範圍。
IGBT 的轉移特性是指輸出漏極電流Id 與(yu) 柵源電壓Ugs 之間的關(guan) 係曲線。它與(yu) MOSFET的轉移特性相同,當柵源電壓小於(yu) 開啟電壓Ugs(th) 時,IGBT 處於(yu) 關(guan) 斷狀態。在IGBT 導通後的大部分漏極電流範圍內(nei) , Id 與(yu) Ugs呈線性關(guan) 係。最高柵源電壓受最大漏極電流限製,其最佳值一般取為(wei) 15V左右。
IGBT 的開關(guan) 特性是指漏極電流與(yu) 漏源電壓之間的關(guan) 係。IGBT 處於(yu) 導通態時,由於(yu) 它的PNP 晶體(ti) 管為(wei) 寬基區晶體(ti) 管,所以其B 值極低。盡管等效電路為(wei) 達林頓結構,但流過MOSFET 的電流成為(wei) IGBT 總電流的主要部分。此時,通態電壓Uds(on) 可用下式表示:
Uds(on) = Uj1 + Udr + IdRoh
式中Uj1 —— JI 結的正向電壓,其值為(wei) 0.7 ~1V ;Udr ——擴展電阻Rdr 上的壓降;Roh ——溝道電阻。
通態電流Ids 可用下式表示:
Ids=(1+Bpnp)Imos
式中Imos ——流過MOSFET 的電流。
由於(yu) N+ 區存在電導調製效應,所以IGBT 的通態壓降小,耐壓1000V的IGBT 通態壓降為(wei) 2 ~ 3V 。IGBT 處於(yu) 斷態時,隻有很小的泄漏電流存在。
1動態特性
IGBT在開通過程中,大部分時間是作為(wei) MOSFET 來運行的,隻是在漏源電壓Uds 下降過程後期, PNP晶體(ti) 管由放大區至飽和,又增加了一段延遲時間。td(on) 為(wei) 開通延遲時間,tri為(wei) 電流上升時間。實際應用中常給出的漏極電流開通時間ton即為(wei) td (on) tri之和。漏源電壓的下降時間由tfe1和tfe2組成。
IGBT的觸發和關(guan) 斷要求給其柵極和基極之間加上正向電壓和負向電壓,柵極電壓可由不同的驅動電路產(chan) 生。當選擇這些驅動電路時,必須基於(yu) 以下的參數來進行:器件關(guan) 斷偏置的要求、柵極電荷的要求、耐固性要求和電源的情況。因為(wei) IGBT柵極- 發射極阻抗大,故可使用MOSFET驅動技術進行觸發,不過由於(yu) IGBT的輸入電容較MOSFET為(wei) 大,故IGBT的關(guan) 斷偏壓應該比許多MOSFET驅動電路提供的偏壓更高。
IGBT的開關(guan) 速度低於(yu) MOSFET,但明顯高於(yu) GTR。IGBT在關(guan) 斷時不需要負柵壓來減少關(guan) 斷時間,但關(guan) 斷時間隨柵極和發射極並聯電阻的增加而增加。IGBT的開啟電壓約3~4V,和MOSFET相當。IGBT導通時的飽和壓降比MOSFET低而和GTR接近,飽和壓降隨柵極電壓的增加而降低。
IGBT的工作原理:
IGBT是將強電流、高壓應用和快速終端設備用垂直功率MOSFET的自然進化。由於(yu) 實現一個(ge) 較高的擊穿電壓BVDSS需要一個(ge) 源漏通道,而這個(ge) 通道卻具有很高的電阻率,因而造成功率MOSFET具有RDS(on)數值高的特征,IGBT消除了現有功率MOSFET的這些主要缺點。雖然最新一代功率MOSFET 器件大幅度改進了RDS(on)特性,但是在高電平時,功率導通損耗仍然要比IGBT 技術高出很多。較低的壓降,轉換成一個(ge) 低VCE(sat)的能力,以及IGBT的結構,同一個(ge) 標準雙極器件相比,可支持更高電流密度,並簡化IGBT驅動器的原理圖。
N溝型的IGBT工作是通過柵極-發射極間加閥值電壓VTH以上的(正)電壓,在柵極電極正下方的p層上形成反型層(溝道),開始從(cong) 發射極電極下的n-層注入電子。該電子為(wei) p+n-p晶體(ti) 管的少數載流子,從(cong) 集電極襯底p+層開始流入空穴,進行電導率調製(雙極工作),所以可以降低集電極-發射極間飽和電壓。工作時的等效電路如圖1(b)所示,IGBT的符號如圖1(c)所示。在發射極電極側(ce) 形成n+pn-寄生晶體(ti) 管。若n+pn-寄生晶體(ti) 管工作,又變成p+n- pn+晶閘管。電流繼續流動,直到輸出側(ce) 停止供給電流。通過輸出信號已不能進行控製。一般將這種狀態稱為(wei) 閉鎖狀態。
為(wei) 了抑製n+pn-寄生晶體(ti) 管的工作IGBT采用盡量縮小p+n-p晶體(ti) 管的電流放大係數α作為(wei) 解決(jue) 閉鎖的措施。具體(ti) 地來說,p+n-p的電流放大係數α設計為(wei) 0.5以下。 IGBT的閉鎖電流IL為(wei) 額定電流(直流)的3倍以上。IGBT的驅動原理與(yu) 電力MOSFET基本相同,通斷由柵射極電壓uGE決(jue) 定。
導通
IGBT矽片的結構與(yu) 功率MOSFET 的結構十分相似,主要差異是IGBT增加了P+ 基片和一個(ge) N+ 緩衝(chong) 層(NPT-非穿通-IGBT技術沒有增加這個(ge) 部分),其中一個(ge) MOSFET驅動兩(liang) 個(ge) 雙極器件。基片的應用在管體(ti) 的P+和N+ 區之間創建了一個(ge) J1結。當正柵偏壓使柵極下麵反演P基區時,一個(ge) N溝道形成,同時出現一個(ge) 電子流,並完全按照功率MOSFET的方式產(chan) 生一股電流。如果這個(ge) 電子流產(chan) 生的電壓在0.7V範圍內(nei) ,那麽(me) ,J1將處於(yu) 正向偏壓,一些空穴注入N-區內(nei) ,並調整陰陽極之間的電阻率,這種方式降低了功率導通的總損耗,並啟動了第二個(ge) 電荷流。最後的結果是,在半導體(ti) 層次內(nei) 臨(lin) 時出現兩(liang) 種不同的電流拓撲:一個(ge) 電子流(MOSFET 電流);空穴電流(雙極)。uGE大於(yu) 開啟電壓UGE(th)時,MOSFET內(nei) 形成溝道,為(wei) 晶體(ti) 管提供基極電流,IGBT導通。
導通壓降
電導調製效應使電阻RN減小,使通態壓降小。
關(guan) 斷
當在柵極施加一個(ge) 負偏壓或柵壓低於(yu) 門限值時,溝道被禁止,沒有空穴注入N-區內(nei) 。在任何情況下,如果MOSFET電流在開關(guan) 階段迅速下降,集電極電流則逐漸降低,這是因為(wei) 換向開始後,在N層內(nei) 還存在少數的載流子(少子)。這種殘餘(yu) 電流值(尾流)的降低,完全取決(jue) 於(yu) 關(guan) 斷時電荷的密度,而密度又與(yu) 幾種因素有關(guan) ,如摻雜質的數量和拓撲,層次厚度和溫度。少子的衰減使集電極電流具有特征尾流波形,集電極電流引起以下問題:功耗升高;交叉導通問題,特別是在使用續流二極管的設備上,問題更加明顯。
鑒於(yu) 尾流與(yu) 少子的重組有關(guan) ,尾流的電流值應與(yu) 芯片的溫度、IC 和VCE密切相關(guan) 的空穴移動性有密切的關(guan) 係。因此,根據所達到的溫度,降低這種作用在終端設備設計上的電流的不理想效應是可行的,尾流特性與(yu) VCE、IC和 TC有關(guan) 。
柵射極間施加反壓或不加信號時,MOSFET內(nei) 的溝道消失,晶體(ti) 管的基極電流被切斷,IGBT關(guan) 斷。
反向阻斷
當集電極被施加一個(ge) 反向電壓時,J1 就會(hui) 受到反向偏壓控製,耗盡層則會(hui) 向N-區擴展。因過多地降低這個(ge) 層麵的厚度,將無法取得一個(ge) 有效的阻斷能力,所以,這個(ge) 機製十分重要。另一方麵,如果過大地增加這個(ge) 區域尺寸,就會(hui) 連續地提高壓降。
正向阻斷
當柵極和發射極短接並在集電極端子施加一個(ge) 正電壓時,P/NJ3結受反向電壓控製。此時,仍然是由N漂移區中的耗盡層承受外部施加的電壓。
閂鎖
IGBT在集電極與(yu) 發射極之間有一個(ge) 寄生PNPN晶閘管。在特殊條件下,這種寄生器件會(hui) 導通。這種現象會(hui) 使集電極與(yu) 發射極之間的電流量增加,對等效MOSFET的控製能力降低,通常還會(hui) 引起器件擊穿問題。晶閘管導通現象被稱為(wei) IGBT閂鎖,具體(ti) 地說,這種缺陷的原因互不相同,與(yu) 器件的狀態有密切關(guan) 係。通常情況下,靜態和動態閂鎖有如下主要區別:
式中Imos ——流過MOSFET 的電流。
隻在關(guan) 斷時才會(hui) 出現動態閂鎖。這一特殊現象嚴(yan) 重地限製了安全操作區。
為(wei) 防止寄生NPN和PNP晶體(ti) 管的有害現象,有必要采取以下措施:一是防止NPN部分接通,分別改變布局和摻雜級別;二是降低NPN和PNP晶體(ti) 管的總電流增益。
此外,閂鎖電流對PNP和NPN器件的電流增益有一定的影響,因此,它與(yu) 結溫的關(guan) 係也非常密切;在結溫和增益提高的情況下,P基區的電阻率會(hui) 升高,破壞了整體(ti) 特性。因此,器件製造商必須注意將集電極最大電流值與(yu) 閂鎖電流之間保持一定的比例,通常比例為(wei) 1:5。